安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐

安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m。為取得較快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。 可選擇單設定點或30段可編程控制器。節能型的陶瓷纖維材料和雙層結構，可將外表溫度降到常溫。均溫區長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標較高，處于國內*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。

安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐適用范圍：可在真空不同氣氛空氣不同環境下，對樣品進行快速熱處理，主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。

產品特點：

多晶纖維爐膛，節能耐腐蝕

重量輕、升溫速度快、節能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結的要求。

爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工

具有極低的熱膨脹系數、耐高溫、化學穩定性好、電絕緣性好。

雙層內膽爐殼，配有風冷系統，快速升降溫

整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。

法蘭采用雙環密封技術

有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。

內嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長

加熱元件采用優質內嵌式合金電熱絲，發熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。

微電腦PID控制器，操作簡便

操作簡便，控溫精確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復雜的試驗過程，真正實現自動控制和運行。
爐體配有：輸出電壓和輸出電流監測表，爐子加熱狀態一目了然。